盛普电源为您提供真空镀膜行业全系列电源解决方案

•    盛普系列高频开关电源模块技术优势

•     1 智能高频开关电源，开关频率高达40KHZ。          2 体积小，重量轻。

•     3 电子高速灭弧。                                                            4 脉宽调制技术，高效、高可靠性。

•     5 模块化设计，N+1备份。                                             6 有外部控制接口，可由微机或PLC控制。

中频磁控溅射电源

1克服靶中毒、抑制靶面打火。

2可溅射金属、半导体膜层。

3电子电抗，自动匹配负载。

4恒流输出，不随气压变化。

5工艺重复性好，提高成膜速度。

直流磁控溅射电源

1恒流输出，不随气压变化。

2抑制靶材弧光放电及抗短路功能。 具有极佳的负载匹配能力

3工艺重复性好，提高成膜速度， 实现高质量的溅射膜层。

脉冲磁控溅射电源

1恒流输出，不随气压变化。

2工艺重复性好，提高成膜速度。

脉冲偏压电源

1自动稳压。

2电子电抗，自动匹配负载。

直流偏压电源

1自动稳压。

2电子电抗，自动匹配负载。

  弧 电 源

1动态特性好，各种靶材都具有良 好的小电流维持特性。

微机控制器

1微机控制器采用80C196为核心。

2大屏幕液晶显示工作、设定状态。

3全中文显示，界面友好。

4面板操作设定所有工作参数。

5可选择的外部控制操作功能，并由干结点提供报警输出。

离子源电源

1灯丝电源，自动稳流。

2阳极电源，稳压限流。

3长狭缝电源，采用电子电抗， 自动匹配负载。

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