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盛普电源为您提供真空镀膜行业全系列电源解决方案
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盛普系列高频开关电源模块技术优势
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智能高频开关电源，开关频率高达40KHZ。
2 体积小，重量轻。
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3 电子高速灭弧。
4 脉宽调制技术，高效、高可靠性。
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5 模块化设计，N+1备份。
6 有外部控制接口，可由微机或PLC控制。
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中频磁控溅射电源
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1克服靶中毒、抑制靶面打火。
2可溅射金属、半导体膜层。
3电子电抗，自动匹配负载。
4恒流输出，不随气压变化。
5工艺重复性好，提高成膜速度。 |
直流磁控溅射电源 |
1恒流输出，不随气压变化。
2抑制靶材弧光放电及抗短路功能。
具有极佳的负载匹配能力
3工艺重复性好，提高成膜速度，
实现高质量的溅射膜层。
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脉冲磁控溅射电源 |
1恒流输出，不随气压变化。
2工艺重复性好，提高成膜速度。
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脉冲偏压电源 |
1自动稳压。
2电子电抗，自动匹配负载。
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直流偏压电源
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1自动稳压。
2电子电抗，自动匹配负载。
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弧 电 源 |
1动态特性好，各种靶材都具有良
好的小电流维持特性。
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微机控制器
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1微机控制器采用80C196为核心。
2大屏幕液晶显示工作、设定状态。
3全中文显示，界面友好。
4面板操作设定所有工作参数。
5可选择的外部控制操作功能，并由干结点提供报警输出。 |
离子源电源 |
1灯丝电源，自动稳流。
2阳极电源，稳压限流。
3长狭缝电源，采用电子电抗，
自动匹配负载。
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